潔淨室的發塵源和潔淨室的清埽:
1、潔淨室的發塵源
對於潔淨室的塵源,除了來自室外大氣的塵粒和進入潔淨室的人和物攜帶的灰塵之外,潔淨室內的發塵源主要來自於潔淨室內操作人員,潔淨室的圍護和潔淨室內生產工藝設備和生產過程的產塵。
①潔淨室內作業人員的產塵。作業人員的產塵與所穿的潔淨工作服的材料、型式、著裝情況和作業人員本身的動作有關。因此,潔淨室內的作業人員必須穿規定的工作服而且動作也要受到一定的限製。通常情況下,一般電子裝配工藝穿全身型潔淨工作服輕微動作時,人員的產塵量為3.5~ 5.0×105個/人·分(≥0.5?m)。是潔淨室內的最主要的發塵源。

②潔淨室圍護和室內表麵的產塵。隨著潔淨室裝修材料的發展,耐磨、抗靜電、少產塵的材料出現,潔淨室內建築產塵量越來越小。一般認為潔淨室單位建築麵積產塵為3~ 5.0×104/m2·分(≥0.5?m)。可見10平方米建築產塵隻相當一個作業人員的產塵量。
③生產設備和生產過程的產塵:這一產塵量與設備和生產過程本身有直接關係。不同設備、不同生產工藝的產塵量差別極大。在日本的資料介紹,一台電動機的產塵量大約為4.5~ 45×104個/台·分(≥0.5?m)。2、潔淨室的清掃
①人工擦拭法:即人用潔淨室專用擦布和純水對潔淨室的地、牆、頂以及家具和設備表麵進行擦拭。這種清掃方法較為徹底。
②分散式真空吸塵法:一般此方法隻適用於低級別(1000級、10000級、100,000級)亂流潔淨室。方法簡單、靈活、方便,每天下班後均可采用此方法清掃。但由於移動式真空吸塵器內的圓筒形高效過濾器的效率比較低(≥99.5%,≥0.5?m),因此不適用在高級別的潔淨室。一般情況500m2潔淨室可設兩台吸塵器,每增加500 m2增加一台,最多不超過10台。
③集中式真空吸塵法:集中式真空吸塵是一個由吸塵口、管網、集中吸塵泵、除塵器組成的係統。吸塵泵和除塵器設在專門的機房內,因噪聲極大,機房不但要遠離廠房和辦公區,而且還要適當地作隔聲消聲處理。吸塵泵應有備用不應少於2台。係統的管道宜用無縫鋼管焊接聯接暗裝敷設。其彎頭曲率半徑為4~6d煨彎不得折皺,三通夾角要小於45?,不應有四通(可由2個三通組合),水平管道的坡度為3‰,坡向立管和吸塵點,拐彎處宜設清掃口。係統末端為吸塵口,平時有蓋密封,使用時開蓋插入吸塵軟管進行吸塵。一般吸塵軟管作用半徑為8米,每個係統同時工作的吸塵口為4~5個,每個吸塵口的風量為150m3/時。
集中式真空吸塵不會影響室內的潔淨度,因此,集中式真空吸塵方法多用在級別較高(100級、10級、1級),麵積較大的潔淨室中。
潔淨室的清掃製度在一般情況下,每班(每天)小清掃一次;每周中清掃一次,每月大清掃一次。並且要設專人負責管理、監督和檢查。還要有一定的培訓製度。
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