超淨工作台是為了適應現代化工業、光電產業、生物製藥以及科研試驗等領域對局部工作區域潔淨度的需求而設計的。其通過風機將空氣吸入預過濾器,經由靜壓箱進入高效過濾器過濾,將過濾後的空氣以垂直或水平氣流的狀態送出,使操作區域達到百級潔淨度,保證生產對環境潔淨度的要求。
超淨工作台多為100級,對於環境的潔淨度要求非常高,因此對於配套的高效過濾器要求也非常嚴格,那麽超淨工作台配套高效過濾器測試操作需要注意什麽呢?

1、準備工作
卸下高效過濾器的散流板,對箱體和框架的外表麵進行清潔,避免積塵對檢測產生幹擾。
關閉潔淨室(區)的防火報警裝置,避免測試期間因煙霧泄漏造成誤會。
確定上遊濃度驗證孔。
準備好惰性氣體的氣源(通常使用氮氣或者壓縮空氣)。
2、氣溶膠煙霧的引入
向4B氣溶膠發生器中加入適量PAO液體,連接氣源,找到風機的吸風口處,通過發煙管直接將氣溶膠通過吸風口送到高效過濾器上遊;打開發生器開關,打開氣源,氣源壓力調到20psig-30psig,調節氣溶膠煙霧的輸出量。
3、0基準和100%基準的設定
確認光度計選擇閥處在CLEAR的位置。將電源開關設置到1(On)的位置,按ENTER鍵,設置零基準線。
采樣管穿過驗證孔,一端與上遊(高效過濾器進風側)采樣口連接,另一端與氣溶膠光度計接通。光度計選擇閥撥到UPSTREAM位置,測定上遊氣溶膠濃度。調節氣溶膠發生器輸出閥的開合度,直至確認上遊濃度達到20-80μg/L,並保持相對穩定。按100鍵,然後按ENTER鍵,設定100%基準。
100%基準線成功設置之後,<0>指示燈將閃爍,表明0%基準線必須進行校正。將選擇閥設置到CLEAR,並按ENTER鍵,0%基準線得到校正。
4、光度計掃描
選擇閥轉向<DOWNSTREAM>,將矩形采樣頭與光度計連接,對被檢過濾器整個斷麵、封膠頭和安裝框架間進行掃描。掃描速率=15÷掃描探頭垂直掃描方向的尺寸。
掃描時速度約2cm/s,掃描按直線來回往複地進行,掃描的覆蓋麵之間略有重疊。采樣探頭距過濾器出風麵和框架結構約3cm。掃描應遍及過濾器的整個出風麵、過濾器周邊、過濾器邊框與安裝架構之間的密封處及安裝架構的結合點。
任何等於或大於已指定限值的跡象時,都應將掃描探頭在相應位置持續相當時間,憑借該位置較長時間內顯示的最大值做出判斷。
原始記錄上畫出示意圖,標明泄漏位置和最大泄漏值。
注意:掃描過程中避免箱體上的積灰幹擾,采樣頭不能碰到高效風口箱體或過濾器的框架。
在掃描工作中間及最後,核查上遊氣溶膠濃度,以確定其穩定性。當上遊氣溶膠濃度變化超過±15%時,重新設定100%基準,並追溯檢查。